村田硅电容是如何形成的及内容结构是什么

1.村田硅电容器的3D结构是如何形成的？

利用干法蚀刻技术的BOSCH工艺。BOSCH工艺是硅加工特有的技术，它可以让通过SF6气体进行蚀刻和通过C4F8形成保护膜高速重复，从而实现高纵横比蚀刻。

2.村田硅电容器的结构是什么？

每种产品类型的标准硅电容器产品的结构如下所示

3.村田硅电容器的内部结构

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